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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第53位 714件
(2011年:第62位 621件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第37位 902件
(2011年:第41位 739件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2012-195444 | 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 | 2012年10月11日 | |
特開 2012-195463 | プラズマエッチング装置及びプラズマエッチング方法 | 2012年10月11日 | |
特開 2012-195385 | 液処理装置、液処理方法及びその液処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 | 2012年10月11日 | |
特開 2012-195347 | 熱処理装置 | 2012年10月11日 | |
特開 2012-195384 | 液処理装置、液処理方法及びその液処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 | 2012年10月11日 | |
特開 2012-195569 | 半導体装置の製造方法及びコンピュータ記録媒体 | 2012年10月11日 | |
特開 2012-195576 | プラズマエッチング方法及び半導体装置の製造方法並びにコンピュータ記憶媒体 | 2012年10月11日 | |
特開 2012-189401 | 処理液用流量計 | 2012年10月 4日 | 共同出願 |
特開 2012-190285 | 生産効率化装置、生産効率化方法、コンピュータプログラム | 2012年10月 4日 | 共同出願 |
特開 2012-191156 | 配線の形成方法および形成装置 | 2012年10月 4日 | 共同出願 |
特開 2012-190868 | 2流体ノズル、基板液処理装置、基板液処理方法、及び基板液処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2012年10月 4日 | |
特開 2012-191142 | 基板搬送装置及び基板搬送方法 | 2012年10月 4日 | |
特開 2012-191215 | 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体 | 2012年10月 4日 | |
特開 2012-191128 | エッチング方法、エッチング装置およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2012年10月 4日 | |
特開 2012-191158 | マイクロ波照射装置 | 2012年10月 4日 |
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