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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-195444 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 2012年10月11日
特開 2012-195463 プラズマエッチング装置及びプラズマエッチング方法 2012年10月11日
特開 2012-195385 液処理装置、液処理方法及びその液処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 2012年10月11日
特開 2012-195347 熱処理装置 2012年10月11日
特開 2012-195384 液処理装置、液処理方法及びその液処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 2012年10月11日
特開 2012-195569 半導体装置の製造方法及びコンピュータ記録媒体 2012年10月11日
特開 2012-195576 プラズマエッチング方法及び半導体装置の製造方法並びにコンピュータ記憶媒体 2012年10月11日
特開 2012-189401 処理液用流量計 2012年10月 4日 共同出願
特開 2012-190285 生産効率化装置、生産効率化方法、コンピュータプログラム 2012年10月 4日 共同出願
特開 2012-191156 配線の形成方法および形成装置 2012年10月 4日 共同出願
特開 2012-190868 2流体ノズル、基板液処理装置、基板液処理方法、及び基板液処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2012年10月 4日
特開 2012-191142 基板搬送装置及び基板搬送方法 2012年10月 4日
特開 2012-191215 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体 2012年10月 4日
特開 2012-191128 エッチング方法、エッチング装置およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2012年10月 4日
特開 2012-191158 マイクロ波照射装置 2012年10月 4日

714 件中 196-210 件を表示

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2012-195444 2012-195463 2012-195385 2012-195347 2012-195384 2012-195569 2012-195576 2012-189401 2012-190285 2012-191156 2012-190868 2012-191142 2012-191215 2012-191128 2012-191158

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