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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第58位 686件
(2013年:第60位 712件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第48位 694件
(2013年:第45位 796件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2014-154684 | 誘導結合プラズマ処理装置 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-154751 | ガス供給系及び成膜装置 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-154682 | 重合膜成膜装置のクリーニング方法および重合膜成膜装置 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-154720 | 被処理体保持部材、搬送装置及び処理装置 | 2014年 8月25日 | |
特開 2014-150227 | 基板搬送装置 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-150064 | プラズマ処理装置 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-150288 | 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-150144 | 原料ガス供給装置、成膜装置、原料の供給方法及び記憶媒体 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-150104 | 載置台及びプラズマ処理装置 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-150132 | 有機半導体デバイスの製造方法及びその製造装置 | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-150266 | 接合装置及び接合システム | 2014年 8月21日 | |
特開 2014-146828 | 成膜方法、成膜装置、および成膜装置の使用方法 | 2014年 8月14日 | |
特開 2014-146826 | 薄膜形成装置の洗浄方法、薄膜形成方法、及び、薄膜形成装置 | 2014年 8月14日 | |
特開 2014-146670 | 成膜方法及び成膜装置 | 2014年 8月14日 | |
特開 2014-145111 | 成膜装置 | 2014年 8月14日 |
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2014-154684 2014-154751 2014-154682 2014-154720 2014-150227 2014-150064 2014-150288 2014-150144 2014-150104 2014-150132 2014-150266 2014-146828 2014-146826 2014-146670 2014-145111
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3月5日(水) -
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