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東京エレクトロン株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第60位 712件 下降2012年:第53位 714件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第45位 796件 下降2012年:第37位 902件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-168437 成膜装置 2013年 8月29日
特開 2013-167451 風速計測方法及び風速計測装置 2013年 8月29日
特開 2013-168131 処理装置及びバルブ動作確認方法 2013年 8月29日
特開 2013-166287 熱融着装置及び熱融着方法 2013年 8月29日
特開 2013-168449 基板処理装置 2013年 8月29日
特開 2013-168461 基板処理装置及び基板処理方法 2013年 8月29日
特開 2013-168675 処理容器およびプラズマ処理装置 2013年 8月29日
特開 2013-168690 プラズマ処理装置およびフォーカスリングとフォーカスリング部品 2013年 8月29日
特開 2013-168400 半導体デバイス検査装置用配線基板及びその製造方法 2013年 8月29日
特開 2013-168429 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 2013年 8月29日
特開 2013-165254 プラズマドーピング装置、プラズマドーピング方法、半導体素子の製造方法、および半導体素子 2013年 8月22日
特開 2013-163856 スパッタ装置 2013年 8月22日
再表 2012-2232 プラズマ処理装置及び方法 2013年 8月22日
特開 2013-165119 基板処理装置及び基板処理方法 2013年 8月22日
特開 2013-165276 蓋部品、処理ガス拡散供給装置、及び基板処理装置 2013年 8月22日

712 件中 226-240 件を表示

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2013-168437 2013-167451 2013-168131 2013-166287 2013-168449 2013-168461 2013-168675 2013-168690 2013-168400 2013-168429 2013-165254 2013-163856 2012-2232 2013-165119 2013-165276

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