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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-146828 成膜方法、成膜装置、および成膜装置の使用方法 2014年 8月14日
特開 2014-146670 成膜方法及び成膜装置 2014年 8月14日
特開 2014-143368 接合装置及び接合システム 2014年 8月 7日
特開 2014-141739 金属マンガン膜の成膜方法、処理システム、電子デバイスの製造方法および電子デバイス 2014年 8月 7日
特開 2014-143367 接合装置及び接合システム 2014年 8月 7日
特開 2014-143388 基板搬送装置、基板搬送方法及び記憶媒体 2014年 8月 7日
特開 2014-142266 試験装置及びプラズマ処理装置 2014年 8月 7日
特開 2014-143366 接合装置及び接合システム 2014年 8月 7日
特開 2014-143244 載置台及びプラズマ処理装置 2014年 8月 7日
特開 2014-143101 プラズマ処理装置 2014年 8月 7日
特開 2014-141706 成膜装置及び成膜方法 2014年 8月 7日
特開 2014-143283 伝熱シート貼付方法 2014年 8月 7日
特開 2014-143310 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2014年 8月 7日
特表 2014-519182 生物学に基づくチャンバマッチング 2014年 8月 7日
特開 2014-140018 成膜方法 2014年 7月31日

685 件中 226-240 件を表示

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2014-146828 2014-146670 2014-143368 2014-141739 2014-143367 2014-143388 2014-142266 2014-143366 2014-143244 2014-143101 2014-141706 2014-143283 2014-143310 2014-519182 2014-140018

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