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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-161244 植物育成光源ユニットおよび植物育成システム 2012年 8月30日
特開 2012-164896 流体供給部材、液処理装置、および液処理方法 2012年 8月30日
特開 2012-165000 基板洗浄方法、基板洗浄装置及び記憶媒体 2012年 8月30日
特開 2012-164990 基板処理方法 2012年 8月30日
特開 2012-164957 液処理装置および液処理方法 2012年 8月30日
特開 2012-164895 マスクパターンの形成方法 2012年 8月30日
特開 2012-164875 プラズマエッチング方法 2012年 8月30日
特開 2012-164858 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 2012年 8月30日
特開 2012-160735 塗布方法及び塗布装置 2012年 8月23日
特開 2012-160614 成膜装置 2012年 8月23日
特開 2012-160585 原料供給装置及び成膜装置 2012年 8月23日
特開 2012-160566 気化装置及び成膜装置 2012年 8月23日
特開 2012-160751 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理装置の用力供給装置及び基板処理装置の用力供給方法 2012年 8月23日
特開 2012-152727 濾過用フィルタ及び濾過用フィルタの製造方法 2012年 8月16日
特開 2012-156497 塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 2012年 8月16日

714 件中 286-300 件を表示

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2012-161244 2012-164896 2012-165000 2012-164990 2012-164957 2012-164895 2012-164875 2012-164858 2012-160735 2012-160614 2012-160585 2012-160566 2012-160751 2012-152727 2012-156497

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