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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-151238 液処理装置 2012年 8月 9日
特開 2012-151237 液処理装置 2012年 8月 9日
特開 2012-151197 薬液供給方法及び薬液供給システム 2012年 8月 9日
特開 2012-151450 静電チャック 2012年 8月 9日
特開 2012-151433 熱処理装置 2012年 8月 9日
特表 2012-518276 プラズマ処理方法 2012年 8月 9日
特開 2012-151216 処理装置の異常判定システム及びその異常判定方法 2012年 8月 9日
特開 2012-151189 微細パターン形成方法 2012年 8月 9日
特開 2012-150721 処理装置の異常診断方法及びその異常診断システム 2012年 8月 9日
特開 2012-151500 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理装置の用力供給装置及び基板処理装置の用力供給方法 2012年 8月 9日
特開 2012-151440 液処理装置および液処理方法 2012年 8月 9日
特開 2012-151370 パワーデバイス用のウエハキャリア及びパワーデバイスの検査方法 2012年 8月 9日
特開 2012-151312 基板反転装置、基板反転方法、剥離システム、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2012年 8月 9日
特開 2012-151247 基板加熱装置、基板加熱方法及び記憶媒体 2012年 8月 9日
特開 2012-151236 液処理装置および液処理方法 2012年 8月 9日

714 件中 316-330 件を表示

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2012-151238 2012-151237 2012-151197 2012-151450 2012-151433 2012-518276 2012-151216 2012-151189 2012-150721 2012-151500 2012-151440 2012-151370 2012-151312 2012-151247 2012-151236

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