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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第53位 714件
(2011年:第62位 621件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第37位 902件
(2011年:第41位 739件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2012-151238 | 液処理装置 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151237 | 液処理装置 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151197 | 薬液供給方法及び薬液供給システム | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151450 | 静電チャック | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151433 | 熱処理装置 | 2012年 8月 9日 | |
特表 2012-518276 | プラズマ処理方法 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151216 | 処理装置の異常判定システム及びその異常判定方法 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151189 | 微細パターン形成方法 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-150721 | 処理装置の異常診断方法及びその異常診断システム | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151500 | 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理装置の用力供給装置及び基板処理装置の用力供給方法 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151440 | 液処理装置および液処理方法 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151370 | パワーデバイス用のウエハキャリア及びパワーデバイスの検査方法 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151312 | 基板反転装置、基板反転方法、剥離システム、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151247 | 基板加熱装置、基板加熱方法及び記憶媒体 | 2012年 8月 9日 | |
特開 2012-151236 | 液処理装置および液処理方法 | 2012年 8月 9日 |
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2012-151238 2012-151237 2012-151197 2012-151450 2012-151433 2012-518276 2012-151216 2012-151189 2012-150721 2012-151500 2012-151440 2012-151370 2012-151312 2012-151247 2012-151236
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