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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第53位 714件
(2011年:第62位 621件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第37位 902件
(2011年:第41位 739件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2012-142380 | 原料供給装置及び成膜装置 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-142404 | 液処理装置 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-142617 | 基板洗浄方法、基板洗浄装置及び記憶媒体 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-142481 | 成膜装置、基板処理システム、基板処理方法及び半導体装置の製造方法 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-142405 | 液処理装置 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-142402 | 液処理装置および液処理方法 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-142399 | 液処理装置および液処理方法 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-142392 | 液処理装置および液処理方法 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-142381 | 塗布方法、塗布装置及び記憶媒体 | 2012年 7月26日 | |
特開 2012-138627 | 半導体装置の製造方法並びにコンタクトホール及び/又はラインの埋め込み方法 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-138492 | カーボン膜上への酸化物膜の成膜方法及び成膜装置 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-136783 | 無電解めっき装置、無電解めっき方法およびコンピュータ読取可能な記憶媒体 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-138510 | 液処理装置、液処理方法及びその液処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-138501 | トレンチの埋め込み方法および成膜装置 | 2012年 7月19日 | |
特開 2012-138500 | タングステン膜又は酸化タングステン膜上への酸化シリコン膜の成膜方法及び成膜装置 | 2012年 7月19日 |
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2012-142380 2012-142404 2012-142617 2012-142481 2012-142405 2012-142402 2012-142399 2012-142392 2012-142381 2012-138627 2012-138492 2012-136783 2012-138510 2012-138501 2012-138500
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