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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-138497 プラズマ処理装置 2012年 7月19日
特開 2012-138482 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2012年 7月19日
特開 2012-130834 塗布処理装置及び塗布処理方法 2012年 7月12日
特開 2012-134431 基板処理方法及び記憶媒体 2012年 7月12日
特開 2012-134388 成膜装置 2012年 7月12日
特開 2012-134387 成膜装置 2012年 7月12日
特開 2012-132865 物理量計測装置及び物理量計測方法 2012年 7月12日
特開 2012-133163 局所露光方法 2012年 7月12日
特開 2012-134375 基板処理装置及び基板処理方法 2012年 7月12日
特開 2012-134363 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 2012年 7月12日
特開 2012-134199 炭素含有薄膜のスリミング方法及び酸化装置 2012年 7月12日
特表 2012-516065 フッ化炭素膜の表面処理 2012年 7月12日
特開 2012-129460 基板液処理装置 2012年 7月 5日
特開 2012-129547 基板載置台、基板処理装置、および温度制御方法 2012年 7月 5日
特開 2012-129496 液処理方法、その液処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体及び液処理装置 2012年 7月 5日

714 件中 376-390 件を表示

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2012-138497 2012-138482 2012-130834 2012-134431 2012-134388 2012-134387 2012-132865 2012-133163 2012-134375 2012-134363 2012-134199 2012-516065 2012-129460 2012-129547 2012-129496

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