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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第58位 686件
(2013年:第60位 712件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第48位 694件
(2013年:第45位 796件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2014-229715 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2014年12月 8日 | |
特開 2014-229565 | プラズマ処理装置及びフィルタユニット | 2014年12月 8日 | |
特開 2014-229787 | 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年12月 8日 | |
特開 2014-229857 | トレンチを充填する方法及び処理装置 | 2014年12月 8日 | |
特開 2014-229861 | 回転可能状態検出装置及び回転可能状態検出方法、並びにこれを用いた基板処理装置及び基板処理方法 | 2014年12月 8日 | |
特開 2014-225629 | エッチング方法 | 2014年12月 4日 | |
特開 2014-225501 | プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 | 2014年12月 4日 | |
特開 2014-225514 | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年12月 4日 | |
特開 2014-225707 | 基板処理装置 | 2014年12月 4日 | |
特表 2014-532111 | 電界によりパターン及び構造形成を制御する方法及びデバイス | 2014年12月 4日 | 共同出願 |
特開 2014-225549 | 接合方法、接合装置および接合システム | 2014年12月 4日 | |
特開 2014-225505 | プラズマエッチング装置及びプラズマエッチング方法 | 2014年12月 4日 | |
特開 2014-222777 | アモルファスシリコン膜の成膜方法および成膜装置 | 2014年11月27日 | |
特開 2014-222761 | 基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 | 2014年11月27日 | |
特開 2014-222660 | プラズマ処理装置 | 2014年11月27日 |
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2014-229715 2014-229565 2014-229787 2014-229857 2014-229861 2014-225629 2014-225501 2014-225514 2014-225707 2014-532111 2014-225549 2014-225505 2014-222777 2014-222761 2014-222660
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