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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-68045 薄膜形成装置の洗浄方法、薄膜形成方法、薄膜形成装置及びプログラム 2014年 4月17日
特開 2014-67983 熱処理装置 2014年 4月17日
特開 2014-67940 基板処理システム 2014年 4月17日
特開 2014-67833 基板処理装置 2014年 4月17日
特開 2014-67827 基板処理装置及びガス供給装置 2014年 4月17日
特開 2014-62990 パターン形成方法 2014年 4月10日 共同出願
特開 2014-62312 マンガンシリケート膜の形成方法、処理システム、半導体デバイスの製造方法および半導体デバイス 2014年 4月10日
特開 2014-64039 成膜方法および成膜装置 2014年 4月10日
特開 2014-62281 金属膜の成膜方法 2014年 4月10日
特開 2014-63908 基板処理システム 2014年 4月10日
特開 2014-64032 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 2014年 4月10日
特開 2014-63972 プラズマエッチング装置及び制御方法 2014年 4月10日
特開 2014-63959 縦型熱処理装置 2014年 4月10日
特開 2014-63918 ガス供給方法及びプラズマ処理装置 2014年 4月10日
特開 2014-63910 液処理方法、液処理装置及び液処理用記録媒体 2014年 4月10日

685 件中 466-480 件を表示

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2014-68045 2014-67983 2014-67940 2014-67833 2014-67827 2014-62990 2014-62312 2014-64039 2014-62281 2014-63908 2014-64032 2014-63972 2014-63959 2014-63918 2014-63910

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