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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-231126 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2012年11月22日
特開 2012-230933 温度測定用基板及び熱処理装置 2012年11月22日
特開 2012-231127 剥離方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、剥離装置及び剥離システム 2012年11月22日
特開 2012-230022 温度校正装置及び温度校正方法 2012年11月22日
特開 2012-230023 温度測定装置、温度校正装置及び温度校正方法 2012年11月22日
特開 2012-231116 液処理方法、液処理装置および記憶媒体 2012年11月22日
再表 2010-140526 プラズマ処理装置及びプラズマ処理装置の給電方法 2012年11月15日
特開 2012-227265 熱処理装置 2012年11月15日
特開 2012-225532 クリーンルームの除塵装置 2012年11月15日 共同出願
特開 2012-227264 基板加熱装置、これを備える塗布現像装置、及び基板加熱方法 2012年11月15日
特表 2012-529007 プローブカード 2012年11月15日
特表 2012-529157 検査装置及び検査システム 2012年11月15日
特開 2012-227428 誘導結合プラズマ処理装置 2012年11月15日
特開 2012-227548 基板処理装置 2012年11月15日
特開 2012-227392 ローディングユニット及び処理システム 2012年11月15日

714 件中 46-60 件を表示

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2012-231126 2012-230933 2012-231127 2012-230022 2012-230023 2012-231116 2010-140526 2012-227265 2012-225532 2012-227264 2012-529007 2012-529157 2012-227428 2012-227548 2012-227392

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