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東京エレクトロン株式会社

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　■　2014年特許取得件数ランキング　　　第48位　694件（2013年：第45位　796件）

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2014-222702	ガスを供給する方法、及びプラズマ処理装置	2014年11月27日
特開 2014-222761	基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体	2014年11月27日
特開 2014-222717	プラズマ処理装置	2014年11月27日
特開 2014-220515	蓋体開閉装置	2014年11月20日
特開 2014-220430	基板処理方法、プログラム、制御装置、成膜装置及び基板処理システム	2014年11月20日
特開 2014-220471	レジストパターン形成方法、塗布、現像装置、記憶媒体	2014年11月20日
特開 2014-220456	剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体	2014年11月20日
特開 2014-220046	マイクロ波プラズマ処理装置およびマイクロ波プラズマ源	2014年11月20日
特開 2014-220282	接合方法、接合装置および接合システム	2014年11月20日
特開 2014-220288	マイクロ波プラズマ処理装置およびマイクロ波プラズマ源	2014年11月20日
特開 2014-220387	プラズマエッチング方法	2014年11月20日
特開 2014-216535	エッチング方法	2014年11月17日
特開 2014-216496	接合装置、接合システムおよび接合方法	2014年11月17日
特開 2014-216540	成膜装置のクリーニング方法および成膜装置	2014年11月17日
特開 2014-216500	接合装置、接合システムおよび接合方法	2014年11月17日

685 件中 46-60 件を表示

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2014-222702 2014-222761 2014-222717 2014-220515 2014-220430 2014-220471 2014-220456 2014-220046 2014-220282 2014-220288 2014-220387 2014-216535 2014-216496 2014-216540 2014-216500

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