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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第62位 621件 (2010年:第57位 692件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第41位 739件 (2010年:第39位 580件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2011-215617 | パターンのつぶれを低減するための組成物及び方法 | 2011年10月27日 | |
特開 2011-210853 | 消耗量測定方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-209025 | 粒子検出方法及び粒子検出装置 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-210958 | プラズマ処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-206752 | フィルタ装置 | 2011年10月20日 | 共同出願 |
特開 2011-211241 | プラズマ処理装置の制御方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-211067 | 基板処理装置及びそれに用いられる基板離脱装置 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-211166 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-211197 | 簡略化されたミクロブリッジ形成及び粗さ解析 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-211163 | 縦型熱処理装置およびその冷却方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-211218 | 塗布、現像装置及び塗布、現像装置の制御方法並びに記憶媒体 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-210872 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-210757 | 処理システム及び搬送機構の冷却方法 | 2011年10月20日 | |
特開 2011-204763 | 基板処理装置用の多孔板の製造方法及び多孔板 | 2011年10月13日 | |
特開 2011-204812 | 複数温度領域分割制御構造体 | 2011年10月13日 |
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2011-215617 2011-210853 2011-209025 2011-210958 2011-206752 2011-211241 2011-211067 2011-211166 2011-211197 2011-211163 2011-211218 2011-210872 2011-210757 2011-204763 2011-204812
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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