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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2014-207353 真空装置及びバルブ制御方法 2014年10月30日
特開 2014-207339 焼成装置及び焼成方法 2014年10月30日 共同出願
特開 2014-207340 焼成方法及び焼成装置 2014年10月30日
特開 2014-207435 バッチ式縦型基板処理装置および基板保持具 2014年10月30日
特開 2014-207426 積層型半導体素子の製造方法、積層型半導体素子、及び、その製造装置 2014年10月30日
特開 2014-205921 Ge−Sb−Te膜の成膜方法 2014年10月30日
特開 2014-207306 収納容器内の雰囲気管理方法 2014年10月30日
特開 2014-205310 パターン形成方法、転写方法及び印刷システム 2014年10月30日
特開 2014-204001 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2014年10月27日
特表 2014-528642 エッチング処理条件を回復させる乾式クリーニング方法 2014年10月27日
特開 2014-203912 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2014年10月27日
特開 2014-203890 移載装置及び移載方法 2014年10月27日
特開 2014-203949 基板処理方法、基板処理装置及び記憶媒体 2014年10月27日
特開 2014-199806 乾燥装置及び乾燥処理方法 2014年10月23日 共同出願
特開 2014-199805 乾燥装置及び乾燥処理方法 2014年10月23日 共同出願

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2014-207353 2014-207339 2014-207340 2014-207435 2014-207426 2014-205921 2014-207306 2014-205310 2014-204001 2014-528642 2014-203912 2014-203890 2014-203949 2014-199806 2014-199805

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