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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2011-204999 基板処理方法 2011年10月13日
特開 2011-204687 マグネトロンの寿命判定方法、マグネトロンの寿命判定装置及び処理装置 2011年10月13日
特開 2011-204764 基板処理装置 2011年10月13日
特開 2011-204812 複数温度領域分割制御構造体 2011年10月13日
特開 2011-205026 基板処理装置 2011年10月13日
特開 2011-205019 ウエハチャックの傾き補正方法及びプローブ装置 2011年10月13日
特開 2011-205044 基板搬送装置及び基板処理装置 2011年10月13日
特開 2011-205000 載置台 2011年10月13日
特開 2011-204893 基板処理装置、基板処理方法、およびこの基板処理方法を実行するためのコンピュータプログラムが記録された記録媒体 2011年10月13日
特開 2011-199140 駆動装置及び接合装置 2011年10月 6日
特開 2011-198838 基板脱着方法 2011年10月 6日
特開 2011-199003 シリコン酸化膜の形成方法、及びプラズマ処理装置 2011年10月 6日
特開 2011-198934 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2011年10月 6日 共同出願
特開 2011-199139 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2011年10月 6日
特開 2011-199256 基板処理方法、この基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体、基板処理装置及び差圧式流量計の異常検出方法 2011年10月 6日

621 件中 91-105 件を表示

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2011-204999 2011-204687 2011-204764 2011-204812 2011-205026 2011-205019 2011-205044 2011-205000 2011-204893 2011-199140 2011-198838 2011-199003 2011-198934 2011-199139 2011-199256

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