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東京エレクトロン株式会社

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　■　2014年特許取得件数ランキング　　　第48位　694件（2013年：第45位　796件）

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称	公報発行日	備考
特開 2014-197625	基板搬送機構の調整具及び当該調整具を用いた調整方法	2014年10月16日
特開 2014-195808	ガス分解システムおよびガス分解器の寿命確認方法	2014年10月16日
特開 2014-197685	凹状部分を有した被処理体上へのシリコン膜の成膜方法	2014年10月16日
特開 2014-194978	プローブカードホルダ及び基板検査装置	2014年10月 9日
特開 2014-194962	照射制御方法及び照射制御装置	2014年10月 9日	共同出願
特開 2014-194966	処理方法及び処理装置	2014年10月 9日
特開 2014-194964	ガス供給装置の制御方法および基板処理システム	2014年10月 9日
特開 2014-195047	載置台及びプラズマ処理装置	2014年10月 9日
特開 2014-194921	マイクロ波処理装置及びマイクロ波処理方法	2014年10月 9日
特開 2014-195122	基板処理装置、異常処理部判定方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体	2014年10月 9日
特開 2014-192245	プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置	2014年10月 6日
特開 2014-192218	ウエハ検査装置	2014年10月 6日
特開 2014-192244	搬送装置制御システム及び搬送装置のアクセス位置を調整する方法	2014年10月 6日
特開 2014-192525	多孔質有機シリカＬｏｗ−ｋ材料をエッチングする方法	2014年10月 6日
特開 2014-192405	プローブ装置	2014年10月 6日

685 件中 106-120 件を表示

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2014-197625 2014-195808 2014-197685 2014-194978 2014-194962 2014-194966 2014-194964 2014-195047 2014-194921 2014-195122 2014-192245 2014-192218 2014-192244 2014-192525 2014-192405

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