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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4805051 液処理装置 2011年11月 2日
特許 4805565 熱処理装置 2011年11月 2日
特許 4805769 塗布処理方法 2011年11月 2日
特許 4806127 薄膜形成方法 2011年11月 2日
特許 4804567 基板浮上装置 2011年11月 2日
特許 4805758 塗布処理方法、プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体及び塗布処理装置 2011年11月 2日
特許 4806856 熱処理方法及び熱処理装置 2011年11月 2日
特許 4804407 液処理装置 2011年11月 2日
特許 4808889 透過分光を用いるウェハ帯域エッジの測定方法、及びウェハの温度均一性を制御するためのプロセス 2011年11月 2日
特許 4805003 液処理装置 2011年11月 2日
特許 4806241 基板処理装置及び基板リフト装置 2011年11月 2日
特許 4801547 載置台、基板処理装置、プラズマ処理装置、載置台の制御方法、プラズマ処理装置の制御方法、制御プログラム、及び記憶媒体 2011年10月26日
特許 4803591 溶剤供給方法 2011年10月26日
特許 4803596 測温装置 2011年10月26日
特許 4803578 成膜方法 2011年10月26日

739 件中 151-165 件を表示

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4805051 4805565 4805769 4806127 4804567 4805758 4806856 4804407 4808889 4805003 4806241 4801547 4803591 4803596 4803578

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