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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 特許取得件数ランキング    第54位 436件 上昇2019年:第58位 415件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6803701 基板処理装置、基板処理方法及び記録媒体 2020年12月23日
特許 6803755 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2020年12月23日
特許 6803815 基板処理装置、及び、基板処理装置の運用方法 2020年12月23日
特許 6804249 塗布装置、塗布方法、および有機ELディスプレイ 2020年12月23日
特許 6804250 減圧乾燥装置、および減圧乾燥方法 2020年12月23日
特許 6804270 基板処理装置、および基板処理方法 2020年12月23日
特許 6804277 処理方法および処理装置 2020年12月23日
特許 6804278 超臨界流体製造装置および基板処理装置 2020年12月23日
特許 6804280 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2020年12月23日
特許 6804309 熱処理装置及び温度制御方法 2020年12月23日
特許 6804325 液処理装置 2020年12月23日
特許 6804353 ウエハ検査装置及びウエハ検査装置の診断方法 2020年12月23日
特許 6804392 プラズマ処理装置及びガスシャワーヘッド 2020年12月23日
特許 6805017 塗布装置、および塗布方法 2020年12月23日
特許 6805018 塗布装置、および塗布方法 2020年12月23日

443 件中 1-15 件を表示

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6803701 6803755 6803815 6804249 6804250 6804270 6804277 6804278 6804280 6804309 6804325 6804353 6804392 6805017 6805018

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