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東京エレクトロン株式会社

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  2023年 出願公開件数ランキング    第31位 722件 下降2022年:第25位 842件)

  2023年 特許取得件数ランキング    第32位 762件 上昇2022年:第38位 690件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7406683 3Dロジック及びメモリのための電力分配ネットワーク 2023年12月28日
特許 7406684 半導体デバイス内の凹状特徴部を低抵抗率金属で充填する方法 2023年12月28日
特許 7406965 プラズマ処理装置 2023年12月28日
特許 7407001 基板処理装置及び基板処理方法 2023年12月28日
特許 7405268 基板処理装置及び基板処理方法 2023年12月26日
特許 7406039 基板処理装置および基板処理方法 2023年12月26日
特許 7403215 基板支持体及び基板処理装置 2023年12月22日
特許 7403234 基板処理装置、及び基板処理方法 2023年12月22日
特許 7403314 エッチング方法及びエッチング装置 2023年12月22日
特許 7403320 基板処理装置 2023年12月22日
特許 7403347 誘導結合アンテナ及びプラズマ処理装置 2023年12月22日
特許 7403348 アンテナセグメント及び誘導結合プラズマ処理装置 2023年12月22日
特許 7403382 プリコート方法及び処理装置 2023年12月22日
特許 7403634 除去加工装置 2023年12月22日
特許 7402395 コンフォーマル膜の交互積層成長のための方法 2023年12月21日

764 件中 1-15 件を表示

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7406683 7406684 7406965 7407001 7405268 7406039 7403215 7403234 7403314 7403320 7403347 7403348 7403382 7403634 7402395

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