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東京エレクトロン株式会社
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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第56位 677件
（
2014年：第58位 686件）
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第51位 433件
（
2014年：第48位 694件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5834783 | マグネトロンスパッタ装置 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5834944 | マグネトロンスパッタ装置及び成膜方法 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5835188 | 基板周縁部の塗布膜除去方法、基板処理装置及び記憶媒体 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5835195 | 乾燥処理用の高圧容器の製造方法及び基板処理装置の製造方法 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5835985 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5836144 | マイクロ波放射機構および表面波プラズマ処理装置 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5836419 | プラズマエッチング方法 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5836848 | 補助露光装置 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5836906 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5836974 | 表示デバイス製造装置、表示デバイスの製造方法 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5837008 | 基板処理方法 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5837150 | 基板処理方法及びその基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5837525 | 基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5837649 | 基板処理装置、異常処理部判定方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2015年12月24日 | |
| 特許 5832397 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2015年12月16日 |
439 件中 1-15 件を表示
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5834783 5834944 5835188 5835195 5835985 5836144 5836419 5836848 5836906 5836974 5837008 5837150 5837525 5837649 5832397
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