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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4798595 プローブカード搬送装置及びプローブカード搬送方法 2011年10月19日
特許 4797662 塗布、現像方法、塗布、現像装置及び記憶媒体 2011年10月19日
特許 4797391 インターポーザの製造方法 2011年10月19日
特許 4796888 群管理システム、プロセス情報管理装置およびプログラム 2011年10月19日
特許 4796574 基板処理装置の制御装置および基板処理装置の制御プログラム 2011年10月19日
特許 4795957 半導体製造プロセスを制御する第1の原理シミュレーションを用いたシステム及び方法。 2011年10月19日
特許 4795935 基板を処理する処理システムおよび方法 2011年10月19日
特許 4795893 基板検知機構および基板収容容器 2011年10月19日
特許 4795407 基板処理方法 2011年10月19日
特許 4796024 容器交換システム及び容器交換方法 2011年10月19日
特許 4796476 熱処理板の温度設定方法、プログラム、プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び熱処理板の温度設定装置 2011年10月19日
特許 4796040 基板処理装置、基板処理方法、および基板製造方法 2011年10月19日
特許 4795064 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラム 2011年10月19日
特許 4793809 重量物の旋回機構 2011年10月12日 共同出願
特許 4791379 基板処理装置、基板搬送方法、制御プログラムおよびコンピュータ読取可能な記憶媒体 2011年10月12日

739 件中 181-195 件を表示

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4798595 4797662 4797391 4796888 4796574 4795957 4795935 4795893 4795407 4796024 4796476 4796040 4795064 4793809 4791379

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