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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4787872 基板搬送処理装置 2011年10月 5日
特許 4787154 low−k誘電体膜並びにその形成方法および形成する処理システム 2011年10月 5日
特許 4786925 基板処理方法および基板処理装置 2011年10月 5日
特許 4787020 成膜方法 2011年10月 5日
特許 4785210 基板搬送装置 2011年10月 5日
特許 4788610 加熱装置、塗布、現像装置、加熱方法及び記憶媒体 2011年10月 5日
特許 4786339 乾燥空気生成装置、基板処理システムおよび乾燥空気生成方法 2011年10月 5日
特許 4788785 現像装置、現像処理方法及び記憶媒体 2011年10月 5日
特許 4787073 処理方法および処理装置 2011年10月 5日
特許 4787761 半導体ウエハーの高圧処理チャンバー 2011年10月 5日
特許 4787103 液処理装置 2011年10月 5日
特許 4784599 真空処理装置及び真空処理方法並びに記憶媒体 2011年10月 5日
特許 4785905 基板搬送処理装置 2011年10月 5日
特許 4786499 熱処理板の温度設定方法、プログラム、プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び熱処理板の温度設定装置 2011年10月 5日
特許 4780715 サーバ装置およびプログラム 2011年 9月28日

739 件中 211-225 件を表示

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4787872 4787154 4786925 4787020 4785210 4788610 4786339 4788785 4787073 4787761 4787103 4784599 4785905 4786499 4780715

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