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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4781505 処理装置の自動検査方法および自動復帰方法 2011年 9月28日
特許 4783094 プラズマ処理用環状部品、プラズマ処理装置、及び外側環状部材 2011年 9月28日
特許 4780789 処理液供給装置 2011年 9月28日
特許 4782761 成膜装置 2011年 9月28日
特許 4782682 連絡空間を用いた効率的な温度制御のための方法と装置 2011年 9月28日
特許 4782316 処理方法及びプラズマ装置 2011年 9月28日
特許 4781711 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2011年 9月28日
特許 4783762 基板載置台および基板処理装置 2011年 9月28日
特許 4782953 プローブカード特性測定装置、プローブ装置及びプローブ方法 2011年 9月28日
特許 4781901 熱処理方法,プログラム及び熱処理装置 2011年 9月28日
特許 4782733 載置台およびそれを用いたプラズマ処理装置 2011年 9月28日
特許 4781165 熱処理装置 2011年 9月28日
特許 4780808 現像処理方法及び現像処理装置 2011年 9月28日
特許 4781430 撮像位置補正方法及び基板撮像装置 2011年 9月28日
特許 4782699 部品の消耗を監視するための方法とシステム 2011年 9月28日

739 件中 226-240 件を表示

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4781505 4783094 4780789 4782761 4782682 4782316 4781711 4783762 4782953 4781901 4782733 4781165 4780808 4781430 4782699

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