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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第58位 686件 (2013年:第60位 712件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5551583 | 金属系膜の成膜方法および記憶媒体 | 2014年 7月16日 | |
特許 5550566 | 半導体デバイスのCuメタライゼーションへ選択的低温Ru堆積を統合する方法 | 2014年 7月16日 | |
特許 5549761 | 熱処理装置のクリーニング方法 | 2014年 7月16日 | |
特許 5549754 | 成膜装置 | 2014年 7月16日 | |
特許 5549552 | 真空処理装置の組み立て方法及び真空処理装置 | 2014年 7月16日 | |
特許 5551947 | 溝用シール材 | 2014年 7月16日 | |
特許 5552410 | 水精製システムの使用に対する課金方法及び記憶媒体 | 2014年 7月16日 | |
特許 5552559 | 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年 7月16日 | |
特許 5552466 | 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び接合システム | 2014年 7月16日 | |
特許 5552462 | 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | 2014年 7月16日 | |
特許 5551946 | 表面平坦化方法 | 2014年 7月16日 | |
特許 5551420 | 基板処理装置及びその電極間距離の測定方法並びにプログラムを記憶する記憶媒体 | 2014年 7月16日 | |
特許 5551346 | チャンバ及び処理装置 | 2014年 7月16日 | |
特許 5551343 | 誘導結合プラズマ処理装置 | 2014年 7月16日 | |
特許 5549441 | 保持体機構、ロードロック装置、処理装置及び搬送機構 | 2014年 7月16日 |
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5551583 5550566 5549761 5549754 5549552 5551947 5552410 5552559 5552466 5552462 5551946 5551420 5551346 5551343 5549441
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12月6日(金) - 愛知 豊橋市花田町
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