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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4773096 基板帯電ダメージを抑制するための方法 2011年 9月14日
特許 4772620 液浸露光用塗布膜の処理条件決定方法および処理条件決定装置 2011年 9月14日
特許 4772456 半導体装置の製造方法、半導体装置の製造装置、制御プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2011年 9月14日
特許 4771855 サーバ装置、およびプログラム 2011年 9月14日
特許 4771845 基板処理方法及び記憶媒体 2011年 9月14日
特許 4774186 偏光を削減する小スポット分光測定器具 2011年 9月14日
特許 4772610 分析方法 2011年 9月14日
特許 4773735 真空容器の水分除去方法、該方法を実行するためのプログラム、及び記憶媒体 2011年 9月14日
特許 4770938 基板処理装置 2011年 9月14日
特許 4770035 処理システム及び処理システムの被処理体の搬送方法 2011年 9月 7日
特許 4767632 基板の異常検出方法 2011年 9月 7日
特許 4767574 処理チャンバおよび処理装置 2011年 9月 7日
特許 4765169 熱処理装置と熱処理方法 2011年 9月 7日
特許 4767783 液処理装置 2011年 9月 7日
特許 4765328 被処理体の処理装置 2011年 9月 7日

739 件中 256-270 件を表示

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4773096 4772620 4772456 4771855 4771845 4774186 4772610 4773735 4770938 4770035 4767632 4767574 4765169 4767783 4765328

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