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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4767574 処理チャンバおよび処理装置 2011年 9月 7日
特許 4765169 熱処理装置と熱処理方法 2011年 9月 7日
特許 4767896 被検査体の搬送装置及び検査装置 2011年 9月 7日
特許 4767783 液処理装置 2011年 9月 7日
特許 4765328 被処理体の処理装置 2011年 9月 7日
特許 4764457 原料気化器及び反応処理装置 2011年 9月 7日
特許 4762835 基板処理方法、基板処理装置、プログラムおよびプログラム記録媒体 2011年 8月31日
特許 4763293 光放射によるシステムコンポーネントへの材料物質付着のモニタリング 2011年 8月31日
特許 4758938 絶縁膜の形成方法及び絶縁膜の形成装置 2011年 8月31日
特許 4761427 被処理体表面検査装置 2011年 8月31日
特許 4761740 マイクロレンズの形成方法 2011年 8月31日
特許 4763763 レジスト塗布現像処理システム 2011年 8月31日
特許 4763235 プラズマ処理のための装置並びに方法 2011年 8月31日
特許 4762743 熱処理装置 2011年 8月31日
特許 4761381 薄膜除去装置及び薄膜除去方法 2011年 8月31日

739 件中 271-285 件を表示

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4767574 4765169 4767896 4767783 4765328 4764457 4762835 4763293 4758938 4761427 4761740 4763763 4763235 4762743 4761381

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