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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5503057 減圧乾燥装置及び減圧乾燥方法 2014年 5月28日
特許 5503189 プローブカード 2014年 5月28日
特許 5503601 処理液供給装置、処理液供給方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 5月28日
特許 5503564 処理装置の異常判定システム及びその異常判定方法 2014年 5月28日
特許 5503435 基板処理装置、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年 5月28日
特許 5507438 液処理装置および液処理方法 2014年 5月28日
特許 5503503 プラズマ処理装置 2014年 5月28日
特許 5503006 基板処理システム、搬送モジュール、基板処理方法及び半導体素子の製造方法 2014年 5月28日
特許 5502070 チューナおよびマイクロ波プラズマ源 2014年 5月28日
特許 5501688 基板位置合わせ機構、それを用いた真空予備室および基板処理システム 2014年 5月28日
特許 5501807 処理装置 2014年 5月28日 共同出願
特許 5506461 超臨界処理装置及び超臨界処理方法 2014年 5月28日 共同出願
特許 5496630 静電チャック装置 2014年 5月21日 共同出願
特許 5497423 成膜装置 2014年 5月21日
特許 5496925 めっき処理装置、めっき処理方法および記憶媒体 2014年 5月21日

694 件中 361-375 件を表示

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5503057 5503189 5503601 5503564 5503435 5507438 5503503 5503006 5502070 5501688 5501807 5506461 5496630 5497423 5496925

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