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東京エレクトロン株式会社
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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第58位 686件
（
2013年：第60位 712件）
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第48位 694件
（
2013年：第45位 796件）
（ランキング更新日：2024年12月3日）筆頭出願人である出願のみカウントしています
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5496512 | 誘電体膜を硬化させる多段階システム及び方法 | 2014年 5月21日 | |
| 特許 5488227 | 基板処理装置 | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5490659 | 基板処理装置、基板処理方法及びこの基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5492789 | 成膜方法および成膜装置 | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5490753 | トレンチの埋め込み方法および成膜システム | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5488400 | 縦型熱処理装置 | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5490435 | ゲートバルブ装置 | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5494146 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5490087 | マイクロ波加熱処理装置および処理方法 | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5491928 | 粒子検出方法及び粒子検出装置 | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5492578 | プラズマ処理装置 | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5491648 | プラズマエッチング装置およびプラズマエッチング方法 | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5491359 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法、ならびにコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5491358 | プラズマエッチング装置およびプラズマエッチング方法、ならびにコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2014年 5月14日 | |
| 特許 5491261 | 基板保持具、縦型熱処理装置および熱処理方法 | 2014年 5月14日 |
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5496512 5488227 5490659 5492789 5490753 5488400 5490435 5494146 5490087 5491928 5492578 5491648 5491359 5491358 5491261
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