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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第58位 686件 (2013年:第60位 712件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5490741 | 基板搬送装置の位置調整方法、及び基板処理装置 | 2014年 5月14日 | |
特許 5490192 | マイクロ波加熱処理装置および処理方法 | 2014年 5月14日 | |
特許 5490024 | 有孔性低誘電率誘電膜の硬化方法 | 2014年 5月14日 | |
特許 5490563 | 基板洗浄方法及び基板洗浄装置 | 2014年 5月14日 | 共同出願 |
特許 5492574 | 基板のクリーニング方法及び基板のクリーニング装置 | 2014年 5月14日 | 共同出願 |
特許 5484373 | パターン形成方法 | 2014年 5月 7日 | 共同出願 |
特許 5486030 | 塗布装置 | 2014年 5月 7日 | |
特許 5485928 | 基板浮上搬送装置及び基板処理装置 | 2014年 5月 7日 | |
特許 5487064 | テンプレート処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、テンプレート処理装置及びインプリントシステム | 2014年 5月 7日 | |
特許 5487748 | バリヤ層、成膜方法及び処理システム | 2014年 5月 7日 | |
特許 5484729 | Si含有膜の選択的堆積のための断続的堆積処理方法 | 2014年 5月 7日 | |
特許 5484478 | 成膜装置及び成膜ヘッド | 2014年 5月 7日 | |
特許 5482282 | 載置台構造及び成膜装置 | 2014年 5月 7日 | |
特許 5485936 | 温度校正装置及び温度校正方法 | 2014年 5月 7日 | |
特許 5486009 | 粒子の注入装置及び方法 | 2014年 5月 7日 |
694 件中 406-420 件を表示
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5490741 5490192 5490024 5490563 5492574 5484373 5486030 5485928 5487064 5487748 5484729 5484478 5482282 5485936 5486009
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12月4日(水) - 東京 千代田区
12月4日(水) - 東京 港区
12月4日(水) -
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12月4日(水) -
12月4日(水) -
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12月5日(木) -
12月5日(木) -
12月6日(金) -
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12月6日(金) -
12月4日(水) - 東京 千代田区
12月10日(火) - 東京 港区
12月10日(火) -
12月10日(火) - 東京 港区
12月11日(水) - 東京 港区
12月11日(水) -
12月11日(水) -
12月11日(水) -
12月11日(水) -
12月11日(水) -
12月12日(木) -
12月12日(木) - 東京 港区
12月12日(木) - 東京 品川
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12月12日(木) - 東京 千代田
12月12日(木) -
12月12日(木) -
12月13日(金) - 東京 23区
12月13日(金) - 東京 品川
12月13日(金) -
12月13日(金) -
12月14日(土) -
12月10日(火) - 東京 港区
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