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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5484325 半導体装置の製造方法 2014年 5月 7日
特許 5486970 基板脱着方法及び基板処理装置 2014年 5月 7日
特許 5486883 被処理体の処理方法 2014年 5月 7日
特許 5485958 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム 2014年 5月 7日
特許 5485950 プラズマ処理装置の制御方法 2014年 5月 7日
特許 5485056 イオン供給装置及びこれを備えた被処理体の処理システム 2014年 5月 7日
特許 5484981 基板載置台及び基板処理装置 2014年 5月 7日
特許 5484363 基板処理方法 2014年 5月 7日
特許 5482500 基板処理装置 2014年 5月 7日
特許 5477961 液処理装置 2014年 4月23日
特許 5481079 ゲートバルブ及びゲートバルブの開閉方法 2014年 4月23日
特許 5480605 基板搬送装置および基板処理システム 2014年 4月23日
特許 5482196 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 2014年 4月23日
特許 5479013 プラズマ処理装置及びこれに用いる遅波板 2014年 4月23日
特許 5476269 成膜方法及び成膜装置 2014年 4月23日

694 件中 421-435 件を表示

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5484325 5486970 5486883 5485958 5485950 5485056 5484981 5484363 5482500 5477961 5481079 5480605 5482196 5479013 5476269

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