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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4706260 被処理体の酸化方法、酸化装置及び記憶媒体 2011年 6月22日
特許 4705378 処理装置及び処理方法 2011年 6月22日
特許 4705967 プラズマ処理装置 2011年 6月22日 共同出願
特許 4704445 プラズマ処理装置におけるマッチングボックスの取り付け方法 2011年 6月15日
特許 4704088 プラズマ処理装置 2011年 6月15日
特許 4704087 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2011年 6月15日
特許 4703810 CVD成膜方法 2011年 6月15日
特許 4702446 塗布、現像装置、塗布、現像方法及び記憶媒体 2011年 6月15日
特許 4701776 エッチング方法及びエッチング装置 2011年 6月15日
特許 4701691 エッチング方法 2011年 6月15日
特許 4701496 処理方法及びその装置 2011年 6月15日
特許 4700564 洗浄装置及び洗浄ユニットを有する処理装置 2011年 6月15日
特許 4700536 液処理装置並びに液処理装置の処理液供給方法及び処理液供給プログラム。 2011年 6月15日
特許 4700117 現像処理方法 2011年 6月15日
特許 4694108 酸化膜形成方法、酸化膜形成装置および電子デバイス材料 2011年 6月 8日

739 件中 451-465 件を表示

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4706260 4705378 4705967 4704445 4704088 4704087 4703810 4702446 4701776 4701691 4701496 4700564 4700536 4700117 4694108

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