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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5472559 光学的に調節可能なソフトマスクプロファイルライブラリを用いる方法及び装置 2014年 4月16日
特許 5470236 局所露光方法及び局所露光装置 2014年 4月16日
特許 5475261 プラズマ処理装置 2014年 4月16日
特許 5475152 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 2014年 4月16日
特許 5474858 液処理装置及び液処理方法 2014年 4月16日
特許 5474855 液処理装置、液処理方法及びその液処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 2014年 4月16日
特許 5474853 液処理装置、液処理方法およびこの液処理方法を実行するためのコンピュータプログラムが記録された記録媒体 2014年 4月16日
特許 5474840 液処理装置および液処理方法 2014年 4月16日
特許 5474666 液処理装置、液処理方法、プログラムおよびプログラム記録媒体 2014年 4月16日
特許 5473962 パターン形成方法及び半導体装置の製造方法 2014年 4月16日
特許 5473857 搬送装置および処理システム 2014年 4月16日
特許 5472169 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 2014年 4月16日
特許 5471740 基板処理装置 2014年 4月16日
特許 5467583 基板洗浄装置 2014年 4月 9日
特許 5469015 基板処理装置および基板搬送方法 2014年 4月 9日

694 件中 451-465 件を表示

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5472559 5470236 5475261 5475152 5474858 5474855 5474853 5474840 5474666 5473962 5473857 5472169 5471740 5467583 5469015

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