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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5438260 プラズマ処理装置 2014年 3月12日
特許 5438205 プラズマ処理装置用の天板及びプラズマ処理装置 2014年 3月12日
特許 5442517 パターン形成方法 2014年 3月12日
特許 5442871 半導体デバイスの製造方法および半導体デバイスの製造装置 2014年 3月12日
特許 5440642 基板洗浄方法、基板洗浄装置、現像方法、現像装置及び記憶媒体 2014年 3月12日
特許 5437763 現像処理方法及び基板処理方法 2014年 3月12日
特許 5437739 液処理システム 2014年 3月12日
特許 5437168 基板の液処理装置および液処理方法 2014年 3月12日
特許 5434800 疎水化処理方法及び疎水化処理装置 2014年 3月 5日
特許 5434781 処理液供給機構 2014年 3月 5日
特許 5430697 塗布方法及び塗布装置 2014年 3月 5日
特許 5436949 アダプタユニット内蔵型ローダ室 2014年 3月 5日
特許 5436763 気密モジュール、及び該気密モジュールの排気方法 2014年 3月 5日
特許 5436589 成膜装置 2014年 3月 5日
特許 5434614 基板処理装置 2014年 3月 5日

694 件中 541-555 件を表示

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5438260 5438205 5442517 5442871 5440642 5437763 5437739 5437168 5434800 5434781 5430697 5436949 5436763 5436589 5434614

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