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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4832682 無人搬送車 2011年12月 7日 共同出願
特許 4832576 塗布処理装置 2011年12月 7日
特許 4830523 塗布、現像装置、塗布、現像方法及びその方法を実施するためのコンピュータプログラム。 2011年12月 7日
特許 4831853 容量結合型平行平板プラズマエッチング装置およびそれを用いたプラズマエッチング方法 2011年12月 7日
特許 4830962 液処理装置、カップ体の着脱方法及び記憶媒体 2011年12月 7日
特許 4830995 基板処理装置及び基板処理方法並びに記憶媒体 2011年12月 7日
特許 4824723 基板処理装置及び基板処理方法 2011年11月30日
特許 4824590 基板処理装置 2011年11月30日
特許 4826483 プラズマ処理装置 2011年11月30日
特許 4829094 基板処理装置、基板処理方法、基板処理プログラム、および、プログラム記録媒体 2011年11月30日
特許 4826362 マイクロレンズの形成方法 2011年11月30日
特許 4827285 パターン認識方法、パターン認識装置及び記録媒体 2011年11月30日
特許 4824671 原子層堆積を実行するための方法およびシステム 2011年11月30日
特許 4828503 基板処理装置、基板搬送方法、コンピュータプログラムおよび記憶媒体 2011年11月30日
特許 4828585 プラズマ処理装置 2011年11月30日

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4832682 4832576 4830523 4831853 4830962 4830995 4824723 4824590 4826483 4829094 4826362 4827285 4824671 4828503 4828585

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