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東京エレクトロン株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第58位 686件 上昇2013年:第60位 712件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第48位 694件 下降2013年:第45位 796件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5629098 シリコン基板上のパターン修復方法 2014年11月19日
特許 5626736 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年11月19日
特許 5627984 成膜方法、成膜装置及び半導体装置の製造方法 2014年11月19日
特許 5623104 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2014年11月12日 共同出願
特許 5622701 減圧乾燥装置 2014年11月12日
特許 5622282 基板裏面洗浄装置 2014年11月12日
特許 5623722 プラズマエッチング装置用シリコン製部品の再生方法 2014年11月12日
特許 5617708 蓋体開閉装置 2014年11月 5日
特許 5618425 周辺露光方法及び周辺露光装置 2014年11月 5日
特許 5617065 剥離方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び剥離システム 2014年11月 5日 共同出願
特許 5619486 フォーカスリング、その製造方法及びプラズマ処理装置 2014年11月 5日 共同出願
特許 5614418 液処理装置、液処理方法及び記憶媒体 2014年10月29日
特許 5616205 基板処理システム、基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2014年10月29日
特許 5615576 基板処理装置用の多孔板の製造方法及び多孔板 2014年10月29日
特許 5614352 ローディングユニット及び処理システム 2014年10月29日

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5629098 5626736 5627984 5623104 5622701 5622282 5623722 5617708 5618425 5617065 5619486 5614418 5616205 5615576 5614352

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