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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4826544 加熱処理装置、加熱処理方法及び記憶媒体 2011年11月30日
特許 4827263 熱処理装置 2011年11月30日
特許 4826362 マイクロレンズの形成方法 2011年11月30日
特許 4824590 基板処理装置 2011年11月30日
特許 4829094 基板処理装置、基板処理方法、基板処理プログラム、および、プログラム記録媒体 2011年11月30日
特許 4828503 基板処理装置、基板搬送方法、コンピュータプログラムおよび記憶媒体 2011年11月30日
特許 4824792 塗布装置 2011年11月30日
特許 4824723 基板処理装置及び基板処理方法 2011年11月30日
特許 4828484 基板処理装置 2011年11月30日
特許 4828293 冷媒中の水分除去装置及び検査装置 2011年11月30日
特許 4828451 基板処理方法、半導体装置の製造方法および基板処理装置 2011年11月30日 共同出願
特許 4828031 ランプ、ランプを用いた熱処理装置 2011年11月30日
特許 4824671 原子層堆積を実行するための方法およびシステム 2011年11月30日
特許 4823628 基板処理方法および記録媒体 2011年11月24日
特許 4821078 成膜装置及びその累積膜厚の管理方法 2011年11月24日

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4826544 4827263 4826362 4824590 4829094 4828503 4824792 4824723 4828484 4828293 4828451 4828031 4824671 4823628 4821078

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