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東京エレクトロン株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第62位 621件 下降2010年:第57位 692件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第41位 739件 下降2010年:第39位 580件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4820007 被処理体の搬送方法 2011年11月24日
特許 4820006 被処理体の搬送システム及び被処理体の搬送方法 2011年11月24日
特許 4823690 成膜方法および半導体装置の製造方法 2011年11月24日
特許 4821078 成膜装置及びその累積膜厚の管理方法 2011年11月24日
特許 4820008 被処理体の搬送システム及び被処理体の搬送方法 2011年11月24日
特許 4821074 処理システム 2011年11月24日
特許 4819244 プラズマ処理装置 2011年11月24日
特許 4823628 基板処理方法および記録媒体 2011年11月24日
特許 4823635 成膜方法およびコンピュータ可読記録媒体 2011年11月24日
特許 4819267 パルスプラズマ処理方法および装置 2011年11月24日
特許 4819106 基板処理装置及び温度調節装置 2011年11月24日
特許 4819411 プラズマ処理装置 2011年11月24日
特許 4816545 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2011年11月16日
特許 4817210 成膜装置および成膜方法 2011年11月16日
特許 4816052 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 2011年11月16日

739 件中 91-105 件を表示

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4820007 4820006 4823690 4821078 4820008 4821074 4819244 4823628 4823635 4819267 4819106 4819411 4816545 4817210 4816052

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