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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第38位 112件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第70位 52件 下降2019年:第58位 415件)

(ランキング更新日:2020年2月20日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
再表 2018-193664 成膜装置及びそのクリーニング方法 2020年 2月20日
再表 2018-193753 絶縁膜の成膜方法、絶縁膜の成膜装置及び基板処理システム 2020年 2月20日
特表 2020-505770 相互接続構造及びその形成方法 2020年 2月20日
特開 2020-26547 成膜装置および成膜方法 2020年 2月20日
特開 2020-26548 陽極酸化チタン材及びその製造方法 2020年 2月20日
特開 2020-26550 ガス処理装置及びガス処理方法 2020年 2月20日
特開 2020-26551 成膜装置及び成膜方法 2020年 2月20日
特開 2020-26571 成膜方法及び成膜装置 2020年 2月20日
特開 2020-26572 バルブ装置、処理装置、および制御方法 2020年 2月20日
特開 2020-26575 成膜装置、成膜システム、および成膜方法 2020年 2月20日
特開 2020-27817 基板処理装置および基板処理方法 2020年 2月20日
特開 2020-27915 処理条件補正方法及び基板処理システム 2020年 2月20日
特開 2020-27925 成膜方法及び成膜装置 2020年 2月20日
特開 2020-27926 成膜方法及び成膜装置 2020年 2月20日

14 件中 1-14 件を表示

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  2. 2018-193664 2018-193753 2020-505770 2020-26547 2020-26548 2020-26550 2020-26551 2020-26571 2020-26572 2020-26575 2020-27817 2020-27915 2020-27925 2020-27926

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