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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 特許取得件数ランキング    第50位 266件 上昇2020年:第54位 436件)

(ランキング更新日:2021年7月26日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2021-105199 成膜方法および成膜装置 2021年 7月26日
特開 2021-106197 基板処理装置及び基板処理方法 2021年 7月26日
特開 2021-106212 エッチング方法、基板処理装置、及び基板処理システム 2021年 7月26日
特開 2021-106216 膜形成方法及びシステム 2021年 7月26日
特開 2021-106217 膜形成方法及び膜形成装置 2021年 7月26日
特開 2021-106228 エッチング方法及びエッチング装置 2021年 7月26日
特開 2021-106279 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2021年 7月26日

7 件中 1-7 件を表示

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2021-105199 2021-106197 2021-106212 2021-106216 2021-106217 2021-106228 2021-106279

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