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東京エレクトロン株式会社

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  2020年 出願公開件数ランキング    第43位 624件 上昇2019年:第58位 660件)

  2020年 特許取得件数ランキング    第60位 343件 下降2019年:第58位 415件)

(ランキング更新日:2020年10月21日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2020-170600 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2020年10月15日
特開 2020-170643 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2020年10月15日
特開 2020-170749 基板処理装置および基板処理方法 2020年10月15日
特開 2020-170752 成膜方法及び成膜装置 2020年10月15日
特開 2020-170757 成膜装置、成膜方法、および成膜システム 2020年10月15日
特開 2020-170801 基板処理方法および基板処理装置 2020年10月15日
特開 2020-170804 プラズマ処理装置用の部材、及び当該部材を備えるプラズマ処理装置 2020年10月15日
特開 2020-170805 プラズマ処理装置用の部材、及び当該部材を備えるプラズマ処理装置 2020年10月15日
特開 2020-170851 塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法 2020年10月15日
特開 2020-170872 基板処理装置、基板処理方法およびプログラム 2020年10月15日
特開 2020-170873 基板処理装置、基板処理方法及び記録媒体 2020年10月15日

11 件中 1-11 件を表示

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2020-170600 2020-170643 2020-170749 2020-170752 2020-170757 2020-170801 2020-170804 2020-170805 2020-170851 2020-170872 2020-170873

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