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東京エレクトロン株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第53位 714件 上昇2011年:第62位 621件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第37位 902件 上昇2011年:第41位 739件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5108557 ロードロック装置および基板冷却方法 2012年12月26日
特許 5105399 データ収集方法,基板処理装置,基板処理システム 2012年12月26日
特許 5108909 裏面異物検出方法及び裏面異物検出装置及び塗布装置 2012年12月26日
特許 5107032 チャンバクリーニング処理を制御するための方法 2012年12月26日 共同出願
特許 5108834 テンプレート処理装置、インプリントシステム、離型剤処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2012年12月26日
特許 5106278 基板洗浄装置および基板洗浄方法、ならびに記憶媒体 2012年12月26日
特許 5111030 基板処理システムに用いられる耐浸食性絶縁層を有する温度制御された基板ホルダ 2012年12月26日
特許 5107842 基板処理方法 2012年12月26日
特許 5108238 検査方法、検査装置及び制御プログラム 2012年12月26日
特許 5107285 成膜装置、成膜方法、プログラム、およびコンピュータ可読記憶媒体 2012年12月26日
特許 5106331 基板載置台の降温方法、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体および基板処理システム 2012年12月26日
特許 5107597 プラズマ処理装置 2012年12月26日
特許 5109376 加熱装置、加熱方法及び記憶媒体 2012年12月26日
特許 5109299 成膜方法 2012年12月26日
特許 5105833 無電解めっき装置、無電解めっき方法およびコンピュータ読取可能な記憶媒体 2012年12月26日

902 件中 1-15 件を表示

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5108557 5105399 5108909 5107032 5108834 5106278 5111030 5107842 5108238 5107285 5106331 5107597 5109376 5109299 5105833

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