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東京エレクトロン株式会社

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  2024年 特許取得件数ランキング    第25位 802件 上昇2023年:第32位 762件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7607449 基板の受け渡し方法及び基板受け渡し装置 2024年12月27日
特許 7607501 処理方法および処理装置 2024年12月27日
特許 7607512 プラズマ処理装置 2024年12月27日
特許 7607524 プラズマ処理装置 2024年12月27日
特許 7607539 プラズマ処理装置及び処理方法 2024年12月27日
特許 7607678 基板処理装置、基板処理方法及び基板製造方法 2024年12月27日
特許 7606658 抵抗変化型メモリ(RERAM)セルの金属-絶縁体-金属(MIM)スタックのその場封止 2024年12月26日
特許 7604847 スパッタ装置 2024年12月24日
特許 7605001 情報取得システム及び情報取得方法 2024年12月24日
特許 7605565 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 2024年12月24日
特許 7605567 搬送装置のティーチング方法及び搬送システム 2024年12月24日
特許 7605569 プラズマ源及びプラズマ処理装置 2024年12月24日
特許 7605610 基板処理装置および基板処理方法 2024年12月24日
特許 7605695 エッジリング及びエッチング装置 2024年12月24日
特許 7604069 エッチングプロファイル制御のために超薄ルテニウム金属ハードマスクを使用する方法 2024年12月23日

809 件中 1-15 件を表示

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7607449 7607501 7607512 7607524 7607539 7607678 7606658 7604847 7605001 7605565 7605567 7605569 7605610 7605695 7604069

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