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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第67位 588件 上昇2017年:第83位 585件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2018-93121 クリーニング方法 2018年 6月14日
特開 2018-93139 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2018年 6月14日
特開 2018-93142 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2018年 6月14日
特開 2018-93146 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2018年 6月14日
特開 2018-93148 給排気構造 2018年 6月14日
特開 2018-93150 成膜装置及び成膜方法 2018年 6月14日
特開 2018-93173 プラズマ処理装置 2018年 6月14日
特開 2018-93178 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2018年 6月14日
特開 2018-93189 プラズマエッチング方法 2018年 6月14日
特開 2018-93238 基板処理装置および基板処理装置の制御方法 2018年 6月14日
特開 2018-87699 シリコン貫通ビア形成生産管理システム、シリコン貫通ビア形成生産管理方法、記録媒体及びプログラム 2018年 6月 7日
特開 2018-88323 プラズマ処理装置 2018年 6月 7日
特開 2018-88336 プラズマ処理装置及びシャワーヘッド 2018年 6月 7日
特開 2018-88452 真空処理装置及びパーティクル計測方法 2018年 6月 7日
特開 2018-88465 基板処理装置及び遮熱板 2018年 6月 7日

591 件中 361-375 件を表示

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2018-93121 2018-93139 2018-93142 2018-93146 2018-93148 2018-93150 2018-93173 2018-93178 2018-93189 2018-93238 2018-87699 2018-88323 2018-88336 2018-88452 2018-88465

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