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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第67位 588件 上昇2017年:第83位 585件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2018-98414 液処理装置における処理液の吐出量の測定方法、測定方法に用いる容器及び測定方法に用いる冶具 2018年 6月21日
特開 2018-98423 表面改質装置および接合システム 2018年 6月21日
特開 2018-98480 窒化シリコンから形成された第1領域を酸化シリコンから形成された第2領域に対して選択的にエッチングする方法 2018年 6月21日
特開 2018-98511 基板搬送装置および基板搬送方法 2018年 6月21日
特開 2018-98823 電源バックアップ装置 2018年 6月21日
特開 2018-90867 基板上に膜を形成する方法、及び、成膜システム 2018年 6月14日
特開 2018-90876 成膜装置 2018年 6月14日
特開 2018-92973 処理方法および処理装置 2018年 6月14日
特開 2018-93018 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2018年 6月14日
特開 2018-93029 成膜処理方法 2018年 6月14日
特開 2018-93063 基板処理装置の洗浄方法および基板処理装置の洗浄システム 2018年 6月14日
特開 2018-93064 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2018年 6月14日
特開 2018-93066 基板液処理装置、および基板液処理方法 2018年 6月14日
特開 2018-93087 基板処理装置 2018年 6月14日
特開 2018-93110 超臨界流体製造装置および基板処理装置 2018年 6月14日

591 件中 346-360 件を表示

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2018-98414 2018-98423 2018-98480 2018-98511 2018-98823 2018-90867 2018-90876 2018-92973 2018-93018 2018-93029 2018-93063 2018-93064 2018-93066 2018-93087 2018-93110

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