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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-102579 基板処理装置 2019年 6月24日
特開 2019-102600 基板処理方法および基板処理装置 2019年 6月24日
特開 2019-102605 液処理装置及び液処理方法 2019年 6月24日
特開 2019-102638 支持アセンブリ及び支持アセンブリの組立方法 2019年 6月24日
特開 2019-102640 プローブ針の針先位置調整方法および検査装置 2019年 6月24日
特開 2019-102645 プローバ 2019年 6月24日
特開 2019-102659 基板処理装置および基板処理方法 2019年 6月24日
特開 2019-102670 シリコン窒化膜の成膜方法及び成膜装置 2019年 6月24日
特開 2019-102680 排気装置、処理装置及び排気方法 2019年 6月24日
特開 2019-102701 基板処理装置、基板処理装置の設置方法及びコンピュータ記憶媒体 2019年 6月24日
特開 2019-102727 基板搬入出装置、基板処理装置及び基板搬送容器の除電方法 2019年 6月24日
特開 2019-102728 ティーチング方法 2019年 6月24日
特開 2019-102729 塗布膜形成方法及び塗布膜形成装置 2019年 6月24日
特開 2019-102780 半導体装置の製造方法及び成膜装置 2019年 6月24日
特開 2019-102807 保護膜形成方法 2019年 6月24日

665 件中 376-390 件を表示

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2019-102579 2019-102600 2019-102605 2019-102638 2019-102640 2019-102645 2019-102659 2019-102670 2019-102680 2019-102701 2019-102727 2019-102728 2019-102729 2019-102780 2019-102807

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