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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
再表 2018-37691 塗布方法、塗布装置及び記憶媒体 2019年 6月20日
特表 2019-517026 光増感化学又は感光性化学増幅レジストを用いた限界寸法制御 2019年 6月20日
特表 2019-517137 光剤を用いた限界寸法制御 2019年 6月20日
特表 2019-517154 複数の材料を有する層を用いて基板をパターニングする方法 2019年 6月20日
特開 2019-93474 基板処理システム 2019年 6月20日
特開 2019-96650 プラズマ処理装置 2019年 6月20日
特開 2019-96666 エッチング方法及びこれを用いた窪みパターンの埋め込み方法 2019年 6月20日
特開 2019-96669 基板処理装置及び塗布モジュールのパラメータの調整方法並びに記憶媒体 2019年 6月20日
特開 2019-96733 基板載置台 2019年 6月20日
特開 2019-96757 測定器のずれ量を求める方法、及び、処理システムにおける搬送位置データを較正する方法 2019年 6月20日
特開 2019-96767 基板処理方法および基板処理装置 2019年 6月20日
特開 2019-96877 完全自己整合性ビアを形成するための選択的付着の方法 2019年 6月20日
特開 2019-96881 完全自己整合性ビアを形成するための選択的膜付着の方法 2019年 6月20日
再表 2018-30516 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 2019年 6月13日
特開 2019-91526 パルスモニタ装置及びプラズマ処理装置 2019年 6月13日

665 件中 391-405 件を表示

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2018-37691 2019-517026 2019-517137 2019-517154 2019-93474 2019-96650 2019-96666 2019-96669 2019-96733 2019-96757 2019-96767 2019-96877 2019-96881 2018-30516 2019-91526

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