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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第332位 110件
(2019年:第334位 117件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第276位 101件
(2019年:第244位 113件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6782362 | 保護プレート、基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2020年11月11日 | |
特許 6783888 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及び記録媒体 | 2020年11月11日 | |
特許 6784848 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2020年11月11日 | |
特許 6778729 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2020年11月 4日 | |
特許 6774972 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2020年10月28日 | |
特許 6775533 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、基板保持具、および小型保持具 | 2020年10月28日 | |
特許 6777614 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2020年10月28日 | |
特許 6777624 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2020年10月28日 | |
特許 6778139 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2020年10月28日 | |
特許 6778144 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2020年10月28日 | |
特許 6778166 | 半導体装置の製造方法 | 2020年10月28日 | |
特許 6778318 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2020年10月28日 | |
特許 6770988 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2020年10月21日 | |
特許 6773711 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2020年10月21日 | |
特許 6773880 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、コンピュータプログラムおよび処理容器 | 2020年10月21日 |
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6782362 6783888 6784848 6778729 6774972 6775533 6777614 6777624 6778139 6778144 6778166 6778318 6770988 6773711 6773880
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4月23日(水) -
4月23日(水) -
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4月23日(水) -
4月23日(水) -
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4月24日(木) -
4月24日(木) -
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