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■ 2020年 出願公開件数ランキング 第332位 110件
(2019年:第334位 117件)
■ 2020年 特許取得件数ランキング 第276位 101件
(2019年:第244位 113件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6731527 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | 2020年 7月29日 | |
特許 6721693 | 基板処理装置、液体原料補充システム、半導体装置の製造方法、プログラム | 2020年 7月15日 | |
特許 6721695 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2020年 7月15日 | |
特許 6724005 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び気化システム | 2020年 7月15日 | |
特許 6724120 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | 2020年 7月15日 | |
特許 6719523 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 | 2020年 7月 8日 | |
特許 6715894 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | 2020年 7月 1日 | |
特許 6715975 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2020年 7月 1日 | |
特許 6714562 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2020年 6月24日 | |
特許 6710168 | 基板処理装置、装置管理コントローラ及びプログラム並びに半導体装置の製造方法 | 2020年 6月17日 | |
特許 6710321 | 基板移載ユニット及び基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2020年 6月17日 | |
特許 6703496 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2020年 6月 3日 | |
特許 6704008 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および記録媒体 | 2020年 6月 3日 | |
特許 6704423 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム | 2020年 6月 3日 | |
特許 6695975 | 基板処理装置、ガスノズルおよび半導体装置の製造方法 | 2020年 5月20日 |
104 件中 61-75 件を表示
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6731527 6721693 6721695 6724005 6724120 6719523 6715894 6715975 6714562 6710168 6710321 6703496 6704008 6704423 6695975
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