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  2017年 出願公開件数ランキング    第490位 79件 下降2016年:第478位 71件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第896位 24件 下降2016年:第563位 46件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6125521 中間周波数RF帯域の高電圧バイアス電力のためのバイパスコンデンサ 2017年 5月10日
特許 6110540 半導体ウエハ処理装置、及び、半導体ウェハを処理する方法 2017年 4月 5日
特許 6104497 めっき溶液の解析及び制御のための方法と装置 2017年 3月29日
特許 6104813 プラズマ処理システムおよびこれを制御する方法 2017年 3月29日
特許 6104934 無電解銅蒸着 2017年 3月29日
特許 6091110 急速交互プロセス(RAP)のリアルタイム制御のためのシステム、方法、及び装置 2017年 3月 8日
特許 6088493 プラズマエッチングリアクタのセラミックシャワーヘッドのためのガス分配システム 2017年 3月 1日
特許 6066728 CDの均一性を向上させるための基板温度調整を行う方法及びプラズマエッチングシステム 2017年 1月25日
特許 6067705 多重ヒータ配列の温度監視及び制御のためのシステムと方法 2017年 1月25日

24 件中 16-24 件を表示

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6125521 6110540 6104497 6104813 6104934 6091110 6088493 6066728 6067705

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