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ラム　リサーチ　コーポレーション

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ラム　リサーチ　コーポレーションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7407125	エッジエクスクルージョン制御	2023年12月28日
特許 7405842	ヘリウム着火抑制のためのセラミックフォーム	2023年12月26日
特許 7404412	統合バッファを備えたウエハ搬送アセンブリ	2023年12月25日
特許 7402179	熱エッチングおよび原子層エッチングにおけるエッチング特性の予測	2023年12月20日
特許 7401589	静電チャック接合のための永久二次浸食封じ込め	2023年12月19日
特許 7401525	ＥＵＶリソグラフィのためのＳｎＯ２表面の修飾	2023年12月19日
特許 7399864	粗さを低減するための原子層堆積及びエッチング	2023年12月18日
特許 7399863	アモルファスカーボン層の開孔プロセス	2023年12月18日
特許 7396998	炭素膜の原子層堆積	2023年12月12日
特許 7395644	基板処理システムにおける再循環を低減するためのカラー、円錐形シャワーヘッド、および／または、トッププレート	2023年12月11日
特許 7395581	ヒータアレイにおける故障の特定および補償	2023年12月11日
特許 7395773	刺激応答性ポリマー膜の制御された分解	2023年12月11日
特許 7394520	最適化された低エネルギ／高生産性の蒸着システム	2023年12月 8日
特許 7391859	プラズマチャンバ壁の状態のリアルタイム監視のための方法および装置	2023年12月 5日
特許 7391830	ＴＣＰエッチングチャンバ内での統合原子層パッシベーションおよびインサイチュエッチング－ＡＬＰ方法	2023年12月 5日

113 件中 1-15 件を表示

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7407125 7405842 7404412 7402179 7401589 7401525 7399864 7399863 7396998 7395644 7395581 7395773 7394520 7391859 7391830

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