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ラム リサーチ コーポレーション

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  2023年 特許取得件数ランキング    第292位 112件 上昇2022年:第512位 53件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7407125 エッジエクスクルージョン制御 2023年12月28日
特許 7405842 ヘリウム着火抑制のためのセラミックフォーム 2023年12月26日
特許 7404412 統合バッファを備えたウエハ搬送アセンブリ 2023年12月25日
特許 7402179 熱エッチングおよび原子層エッチングにおけるエッチング特性の予測 2023年12月20日
特許 7401525 EUVリソグラフィのためのSnO2表面の修飾 2023年12月19日
特許 7401589 静電チャック接合のための永久二次浸食封じ込め 2023年12月19日
特許 7399863 アモルファスカーボン層の開孔プロセス 2023年12月18日
特許 7399864 粗さを低減するための原子層堆積及びエッチング 2023年12月18日
特許 7396998 炭素膜の原子層堆積 2023年12月12日
特許 7395581 ヒータアレイにおける故障の特定および補償 2023年12月11日
特許 7395644 基板処理システムにおける再循環を低減するためのカラー、円錐形シャワーヘッド、および/または、トッププレート 2023年12月11日
特許 7395773 刺激応答性ポリマー膜の制御された分解 2023年12月11日
特許 7394520 最適化された低エネルギ/高生産性の蒸着システム 2023年12月 8日
特許 7391830 TCPエッチングチャンバ内での統合原子層パッシベーションおよびインサイチュエッチング-ALP方法 2023年12月 5日
特許 7391859 プラズマチャンバ壁の状態のリアルタイム監視のための方法および装置 2023年12月 5日

113 件中 1-15 件を表示

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7407125 7405842 7404412 7402179 7401525 7401589 7399863 7399864 7396998 7395581 7395644 7395773 7394520 7391830 7391859

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