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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7407125 | エッジエクスクルージョン制御 | 2023年12月28日 | |
特許 7405842 | ヘリウム着火抑制のためのセラミックフォーム | 2023年12月26日 | |
特許 7404412 | 統合バッファを備えたウエハ搬送アセンブリ | 2023年12月25日 | |
特許 7402179 | 熱エッチングおよび原子層エッチングにおけるエッチング特性の予測 | 2023年12月20日 | |
特許 7401525 | EUVリソグラフィのためのSnO2表面の修飾 | 2023年12月19日 | |
特許 7401589 | 静電チャック接合のための永久二次浸食封じ込め | 2023年12月19日 | |
特許 7399863 | アモルファスカーボン層の開孔プロセス | 2023年12月18日 | |
特許 7399864 | 粗さを低減するための原子層堆積及びエッチング | 2023年12月18日 | |
特許 7396998 | 炭素膜の原子層堆積 | 2023年12月12日 | |
特許 7395581 | ヒータアレイにおける故障の特定および補償 | 2023年12月11日 | |
特許 7395644 | 基板処理システムにおける再循環を低減するためのカラー、円錐形シャワーヘッド、および/または、トッププレート | 2023年12月11日 | |
特許 7395773 | 刺激応答性ポリマー膜の制御された分解 | 2023年12月11日 | |
特許 7394520 | 最適化された低エネルギ/高生産性の蒸着システム | 2023年12月 8日 | |
特許 7391830 | TCPエッチングチャンバ内での統合原子層パッシベーションおよびインサイチュエッチング-ALP方法 | 2023年12月 5日 | |
特許 7391859 | プラズマチャンバ壁の状態のリアルタイム監視のための方法および装置 | 2023年12月 5日 |
113 件中 1-15 件を表示
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7407125 7405842 7404412 7402179 7401525 7401589 7399863 7399864 7396998 7395581 7395644 7395773 7394520 7391830 7391859
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