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ラム　リサーチ　コーポレーション

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公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5836959	基板支持アセンブリにおけるヒータに電力を供給する方法、および、半導体基板支持体	2015年12月24日
特許 5837503	プラズマ処理システム内でプラズマの閉じ込め状態を検出するための方法および装置	2015年12月24日
特許 5838079	半導体用途での正確な温度測定	2015年12月24日
特許 5833600	シリコン層にフィーチャーをエッチングする方法およびその装置	2015年12月16日
特許 5826185	可変マイクロ波回路および可調プラズマアッシング装置	2015年12月 2日
特許 5826353	半導体材料処理装置用の低粒子性能を有するシャワーヘッド電極及びシャワーヘッド電極アセンブリ	2015年12月 2日
特許 5826761	小型のプラズマチャンバシステム及び方法	2015年12月 2日
特許 5820870	金属堆積のために基板表面を調整する方法および統合システム	2015年11月24日
特許 5815703	プラズマ処理チャンバ、プラズマ処理チャンバの部品及びその製造方法	2015年11月17日
特許 5808736	プラズマ処理システム	2015年11月10日
特許 5808750	傾斜側壁を備える静電チャック	2015年11月10日
特許 5804706	キャップ層を有する基板用の析出後洗浄方法並びに組成	2015年11月 4日
特許 5805077	多段階基板洗浄の方法及び装置	2015年11月 4日
特許 5805105	高アスペクト比ナノ構造におけるパターン崩壊の低減方法	2015年11月 4日
特許 5800835	プラズマ処理装置のための埋め込み型留め具	2015年10月28日

69 件中 1-15 件を表示

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5836959 5837503 5838079 5833600 5826185 5826353 5826761 5820870 5815703 5808736 5808750 5804706 5805077 5805105 5800835

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